Technologie magnetronového naprašování (PVD) je jednou z klíčových technologií pro přípravu tenkovrstvých materiálů. Vysoce čisté titanové naprašovací terče jsou klíčovými spotřebními materiály v procesu magnetronového naprašování a mají široké možnosti uplatnění na trhu. Jako povlakový materiál s vysokou -hodnotou- mají titanové terčíky přísné požadavky na chemickou čistotu, mikrostrukturu a výkon a jsou vysoce technické a obtížně zpracovatelné.
Magnetronové naprašovací titanové terčové materiály se používají hlavně v elektronickém a informačním průmyslu, jako jsou integrované obvody, ploché panely a dekorativní nátěry v bytovém průmyslu a v automobilovém průmyslu, jako jsou skleněné dekorativní nátěry a dekorativní nátěry nábojů kol, jak je znázorněno na obrázku 1. Požadavky na titanové terčové materiály v různých průmyslových odvětvích se také velmi liší, zejména včetně čistoty, mikrostruktury, svařovacího výkonu a rozměrové přesnosti. Čistota titanových terčových materiálů pro integrované obvody je převážně nad 99,995 % a v současnosti se spoléhají především na dovoz. Na trhu s titanovými terčovými materiály používanými v plochých panelových displejích je největší trh s displejem z tekutých krystalů (LCD), který představuje více než 90 %. LCD je v současnosti považováno za nejslibnější ploché zobrazovací zařízení. Jeho vznik značně rozšířil aplikační řadu displejů, od displejů notebooků, monitorů stolních počítačů,-LCD televizorů s vysokým rozlišením až po mobilní komunikaci. Různé nové LCD produkty ovlivňují životní návyky lidí a řídí rychlý rozvoj světového informačního průmyslu.
Čistota materiálů titanových terčů má významný vliv na výkonnost naprašovaných filmů. Čím vyšší čistota, tím méně částic nečistot v naprašovaném titanovém filmu, což má za následek lepší vlastnosti filmu, včetně lepší odolnosti proti korozi a elektrických a optických vlastností. Obecně mají titanové terčové materiály polykrystalickou strukturu s velikostí zrn v rozmezí od mikrometrů do milimetrů. Jemnozrnné materiály terče mají vyšší rychlost rozprašování než hrubozrnné-materiály. U terčů s podobnou velikostí zrn na naprašovacím povrchu je distribuce tloušťky naprašovaného naneseného filmu také rovnoměrnější.
